EddyCus® TF lab 2020SR 是一种非接触式单点薄层电阻测量系统。该设备包含一个涡流传感器组，可将微弱电流感应到导电薄膜和材料中。样本中的感应电流会产生与测量对象的薄层电阻相关的电磁场。该技术独立于表面特征或形态。此外，它不需要任何类型的充分样品接触或准备，例如从 2 点或 4 点探针测试（2PP、4PP）或霍尔效应或范德堡测量中得知。它既不需要设置测试结构，也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外，测量不会对测试的薄膜产生物理影响。由于存在机械磨损，涡流仪器具有较长的使用寿命。它独立于接触质量和高速，可实现高重复性和准确性，有利于研发和测试实验室中各种薄膜的系统质量保证。 EddyCus 工具可以由具有各种数据记录和导出功能的 SURAGUS 软件驱动，也可以由 SURAGUS 软件开发套件驱动的客户软件驱动。

软件和设备控制

1、非常人性化的软件

2、直观的触摸显示屏导航

3、实时测量薄层电阻和层厚

4、软件辅助手动映射选项

5、各种数据保存和导出选项

2020SR非接触式单点薄层电阻测试仪的数据表

测量技术	非接触式涡流传感器
基质	箔、玻璃、晶片等。
基底面积	8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面开口)
最大值样品厚度/传感器间隙	3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的样品确定)
金属薄膜(如铜)的厚度测量范围	2纳米–2毫米(根据薄层电阻)
设备尺寸(宽高比)	11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米
重量	10公斤
更多可用功能	薄层电阻测量/金属厚度监控器

	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
	6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
Accuracy / Bias	± 1%			± 1 – 3%	± 3 – 5%
Repeatability (2σ)	< 0.3%			< 0.5%	< 0.3%

VLSR - 极低薄层电阻 , LSR - 低薄层电阻 , MSR - 中等薄层电阻 , HSR - 高薄层电阻 , VHSR - 非常高薄层电阻

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简要描述：2020SR非接触式单点薄层电阻测试仪是一种非接触式单点薄层电阻测量系统。该设备包含一个涡流传感器组，可将微弱电流感应到导电薄膜和材料中。样本中的感应电流会产生与测量对象的薄层电阻相关的电磁场。

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