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TF lab 2020SR单点非接触式晶片电阻测试仪#技术规格

日期:2023-11-21浏览:148次

EddyCus TF lab 2020SR – 非接触式单点薄层电阻测试仪


EddyCus TF lab 2020SR 是一种非接触式单点薄层电阻测量系统。该设备包含一个涡流传感器组,可将微弱电流感应到导电薄膜和材料中。样本中的感应电流会产生与测量对象的薄层电阻相关的电磁场。该技术独立于表面特征或形态。此外,它不需要任何类型的充分样品接触或准备,例如从 2 点或 4 点探针测试(2PP、4PP)或霍尔效应或范德堡测量中得知。它既不需要设置测试结构,也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外,测量不会对测试的薄膜产生物理影响。由于存在机械磨损,涡流仪器具有较长的使用寿命。它独立于接触质量和高速,可实现高重复性和准确性,有利于研发和测试实验室中各种薄膜的系统质量保证。 EddyCus 工具可以由具有各种数据记录和导出功能的 SURAGUS 软件驱动,也可以由 SURAGUS 软件开发套件驱动的客户软件驱动。


软件和设备控制

 

1、非常人性化的软件

2、直观的触摸显示屏导航

3、实时测量薄层电阻和层厚

4、软件辅助手动映射选项

5、各种数据保存和导出选项


EddyCus TF lab 2020SR的数据表



测量技术:非接触式涡流传感器

   



基质:箔、玻璃、晶片等。

   



基底面积:8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面开口)

   



最大值样品厚度/传感器间隙:3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的样品确定)

   



金属薄膜(如铜)的厚度测量范围:2纳米–2毫米(根据薄层电阻)

   



设备尺寸(宽高比):11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米

   



重量:10公斤

   



更多可用功能:薄层电阻测量/金属厚度监控器



VLSR

LSR

MSR

HSR

VHSR


6 decades are measurable   by one sensor, but with slightly affected accuracy

Range [Ohm/sq]

0.0001 – 0.1

0.1 – 10

0.1 – 100

10 – 2000

1,000 – 200,000

Accuracy / Bias

± 1%

± 1 – 3%

± 3 – 5%

Repeatability   (2σ)

< 0.3%

< 0.5%

< 0.3%


   














VLSR - 极低薄层电阻 , LSR - 低薄层电阻 , MSR - 中等薄层电阻 , HSR - 高薄层电阻 , VHSR - 非常高薄层电阻

 


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